Владимир Николаевич Кеменов
|
ИЗ ИЗДАНИЯ: Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и краткую историю развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» (070200) и «Электронное машиностроение» (200500). |