Леонид Николаевич Розанов
|
ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки, принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин и установок, основы конструирования вакуумных систем. Во втором издании (1-е - 1982 г.) в новом методическом изложении даны разделы физики вакуума, физических процессов и сорбционных явление в вакууме. |
ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин. Книга предназначена для инженерно-технических работников, проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентам вузов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому машиностроению. |