Серия "Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники"
найдено в сети, кое-что переформатировано
djvu:"Книга 01 - Общая технология (Козырь_И_Я, Горбунов_Ю_И) (1989).djvu"
"Книга 02 - Материалы (Курносов_А_И) (1989).djvu"
есть в библиотеке
"Книга 02 - Материалы (Курносов_А_И) (1989) 1.djvu" (вариант)
"Книга 03 - Полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы (Горбунов_Ю_И) (1989).djvu"
"Книга 04 - Механическая и химическая обработка (Никифорова_С_Н) (1989).djvu"
"Книга 05 - Термические процессы (Никифорова-Денисова_С_Н) (1989).djvu"
"Книга 06 - Нанесение плёнок в вакууме (Минайчев_В_Е) (1989).djvu"
"Книга 07 - Элионная обработка (Моряков_О_С) (1990).djvu"
"Книга 08 - Литографические процессы (Мартынов_В_В) (1990).djvu"
"Книга 09 - Сборка (Моряков_О_С) (1990).djvu"
"Книга 10 - Контроль качества (Семёнов_Ю_Г) (1990).djvu"
В некоторых выпусках нет обложки!