. |
Джордж Р. Брюэр
|
. |
Издания:
* Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов. (1984) Соавт.: Д.С. Гринич, и др. Под ред. Дж.Р. Брюэра
* Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов. (1984) Соавт.: Д.С. Гринич, и др. Под ред. Дж.Р. Брюэра
. |
Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем. |
. |