••
 ◄►
•Публичная Библиотека•
Универсальная библиотека, портал создателей электронных книг, авторов произведений и переводов
.

Джордж Р. Брюэр 1k

-

()

.
 .
.
Сочинения:
* Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов. (1984) Соавт.: Д.С. Гринич, и др. Под ред. Дж.Р. Брюэра
 .
▼
▲
.
  • Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов. [Djv- 4.3M] Авторы: Дж.Р. Брюэр, Д.С. Гринич, Д.Р. Херриот, Р.К. Хендерсон, Дж.П. Балантайн, Ж. Тротель, Б. Фэй. Под редакцией Дж.Р. Брюэра. Перевод с английского В.В. Копицына и А.Н. Маркова.
    (Москва: Издательство «Радио и связь», 1984)
    Скан, обработка, формат Djv: АЧ, 2003
Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
 .