|
- ⒶⒸРеньян В.Р. Технология полупроводникового кремния. (Technology Semiconductor Silicon) [Djv-Fax-10.5M] [Pdf-Fax- 8.5M] Автор: Волтер Р. Ренян (Walter R. Runyan). Перевод с английского Туровского Б.М., Нашельского А.Я., Шушлебиной Н.Я., Баташева В.И., Королькова А.Г. Под редакцией Шашкова Ю.М.
(Москва: Издательство «Металлургия», 1969) Скан, обработка, формат Djv-Fax: ???, предоставил: Михаил, 2013; формат Pdf-Fax: звездочет, 2024
- КРАТКОЕ ОГЛАВЛЕНИЕ:
Предисловие автора (5). Глава I. Историческая справка (7). Глава II. Методы получения полупроводникового кремния (12). Глава III. Литье кремния (28). Глава IV. Выращивание кристаллов (44). Глава V. Ориентировка и форма кристаллов (115). Глава VI. Легирование (139). Глава VII. Диффузия (157). Глава VIII. Электрические свойства (218). Глава IX. Оптические свойства (239). Глава X. Общие физические свойства и механическая обработка кремния (267). Глава XI. Поведение примесей в кремнии (290).
ИЗ ИЗДАНИЯ: Приводится большой материал по физико-химическим, электрическим, оптическим и механическим свойствам кремния, технологическим процессам получения кремния (химическим методам получения кремния, выращиванию монокристаллов и пленок, легированию) и его использованию (приготовлению оптических элементов, диффузии, резки и т.д.). Предназначается для инженеров, конструкторов, проектировщиков металлургической и электронной промышленности. Может быть полезна студентам и аспирантам, специализирующимся в области получения и использования кремния. |
|