Леон Майссел
(Leon I. Maissel)

()

.

• Технология тонких пленок. Том 1. [Djv-ZIP] Справочник. Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко.
  (М.: Советское радио. Редакция литературы по электронной технике, 1977)
  Предоставил: Sergege, 2008

Аннотация издательства: Справочник по технологии тонких пленок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т.1 включены гл. 1-7, в т.2 - гл. 8-21.
В т.1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры.
Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.

• Технология тонких пленок. Том 2. [Djv-ZIP] Справочник. Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко.
  (М.: Советское радио. Редакция литературы по электронной технике, 1977)
  Предоставил: Sergege, 2008

Аннотация издательства: Справочник по технологии тонких пленок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т.1 включены гл. 1-7, в т.2 - гл. 8-21.
В т.2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии.
Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов.
Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.