«И» «ИЛИ»  
© Публичная Библиотека
 -  - 
Универсальная библиотека, портал создателей электронных книг. Только для некоммерческого использования!
Минайчев Виктор Егорович
.

Виктор Егорович Минайчев 78k

-

()

.
.
виктор егорович минайчев на страницах библиотеки упоминается 2 раза:
* «Серия ХМ-6. Криогенное и вакуумное машиностроение»
* Минайчев Виктор Егорович
  • Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок. [Djv- 898k] Автор: Виктор Егорович Минайчев.
    (Москва: Издательство «Машиностроение», 1978)
    Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2007
    • КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ:
      Введение (3).
      I. Нанесение пленок испарением веществ в вакууме (7).
      II. Нанесение пленок ионным распылением (19).
      III. Установки вакуумного нанесения пленок (30).
      IV. Контроль скорости осаждения и толщины тонких пленок (52).
      Вопросы для самопроверки (52).
      Список литературы (58).
Аннотация издательства: Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.
.
.
  • Минайчев В.Е. Вакуумные крионасосы. [Djv- 3.9M] Автор: Виктор Егорович Минайчев.
    (Москва: Издательство «Энергия», 1976)
    Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2008
    • СОДЕРЖАНИЕ:
      Предисловие (3).
      Глава первая. Физические основы криоконденсационной откачки (6).
      Глава вторая. Основы конструирования крионасосов (53).
      Глава третья. Элементы расчета крионасосов (108).
      Список литературы (146).
Аннотация издательства: В книге излагаются физические представления о процессе криоконденсационной откачки Рассматриваются принципы действия, способы охлаждения, характеристики и параметры крионасосов. Большое внимание уделено вопросам конструирования и основам расчета крионасосов
Книга представляет интерес для широкого круга инженеров и научных работников, специализирующихся в области вакуумной техники и смежных с ней областях.
.
  • Минайчев В.Е... Магнетронные распылительные устройства (магратроны). [Djv- 739k] Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг. Авторы: Виктор Егорович Минайчев, Вадим Васильевич Одиноков, Галина Петровна Тюфаева.
    (Москва: ЦНИИ «Электроника», 1979. - Обзоры по электронной технике. Серия 7: «Технология, организация производства и оборудование». Выпуск 8(659))
    Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2007
    • КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ:
      Введение (2).
      Физические основы магратронов (4).
      Технологические аспекты (16).
      Конструкции магратронов (30).
      Установки с магнетронными распылительными устройствами (39).
      Заключение (51).
      Список литературы (53).
Аннотация издательства: Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов.
Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».
.