Московский институт электронной техники
|
* Афонин Сергей Михайлович
* Литература. Обществоведение: Культура, наука, просвещение (наука)
* Московский Институт Электронной Техники
* Литература. Обществоведение: Культура, наука, просвещение (наука)
* Московский Институт Электронной Техники
* Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем. Часть 1. (1971) Учебное пособие
* Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем. Часть 2. (1971) Учебное пособие
* Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем. Часть 2. (1971) Учебное пособие
ИЗ ИЗДАНИЯ: Создание высоконадежных, малогабаритных и высокопроизводительных радиоэлектронных вычислительных устройств стало возможным благодаря развитию новых методов конструирования микроминиатюрной радиоэлектронной аппаратуры. Из различных направлений микроминиатюризации особенно эффективной оказалась интегральная микроэлектроника, основанная на последних достижениях физики пленок и полупроводников, функционально-узловом методе конструирования и групповой технологии изготовления микросхем. В настоящее время микроэлектроника развивается по трем основным направлениям - пленочные ИС, полупроводниковые ИС и функциональные схемы. Традиционные принципы и методы проектирования радиоэлектронной аппаратуры оказались непригодными для конструирования микросхем, для изготовления которых появились новые технологические процессы. Внедрение микросхем в ряд областей техники связано с переподготовкой и обучением большого числа специалистов по микроэлектронике. В учебных планах некоторых вузов микроэлектроника вылилась в отдельно изучаемую дисциплину. При подготовке инженерных кадров по этой специальности необходимы знания в области физики пленок, конструирования и технологии производства микросхем. Поскольку в настоящее время нет единого литературного источника, где бы полностью были отражены эти вопросы, то данное пособие, явилось попыткой систематизировать материал по некоторым вопросам микроэлектроники. Пособие состоит из двух частей (7 глав - в первой части, 5 - во второй). Первая часть посвящена рассмотрению функционально-узлового метода конструирования, микроминиатюризации, физическим основам, конструированию и технологии изготовления ИС на основе тонких, толстых и магнитных пленок. Во второй части описаны физические основы полупроводниковой электроники, технологии изготовления к проектирования полупроводниковых ИС, дана общая характеристика метода контроля и испытаний ИС, указаны пути дальнейшего развития микроэлектроники. Пособие рассчитано на студентов и аспирантов, специализирующихся по микроэлектронике, а также инженеров, работающих в данной области. При написании пособия использованы материалы, опубликованные в периодической печати, некоторые работы авторов, а также материалы курсов лекций по микроэлектронике, прочитанных авторами в 1968-1970 гг. студентам всех факультетов МИЭТ... |
ИЗ ИЗДАНИЯ: ... |