Борис Никитович Васичев
|
* «Новое в жизни, науке, технике: Радиоэлектроника и связь» (серия изд. «Знание»)
* Васичев Борис Никитович (физмат)
* Васичев Борис Никитович (физмат)
ИЗ ИЗДАНИЯ: Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам. Этот метод позволяет проводить комплексное изучение электронно-микроскопических объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление - электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т.д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов. Книга рассчитана на инженерно-технических работников - физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов. |