 |
- Запорожский В.П... Обработка полупроводниковых материалов. [Djv- 2.3M] Учебное пособие для СПТУ. Авторы: В.П. Запорожский Б.А. Лапшинов. Учебное издание.
(Москва: Издательство «Высшая школа», 1988)
Скан: AAW, обработка, формат Djv: pohorsky, 2015
- КРАТКОЕ ОГЛАВЛЕНИЕ:
Предисловие (3).
Введение (4).
Глава I. Основные сведения о технологических процессах изготовления полупроводниковых приборов и микросхем (5).
Глава II. Строение, свойства и способы получения монокристаллов полупроводниковых материалов (16).
Глава III. Разрушение монокристаллов полупроводниковых материалов при механической обработке и методы исследования структурных нарушений (25).
Глава IV. Изготовление подложек из полупроводниковых материалов (34).
Глава V. Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы (86).
Глава VI. Фотолитографическая обработка полупроводниковых пластин (113).
Глава VII. Изготовление фотошаблонов (163).
Заключение (183).
Рекомендуемая литература (183).
Аннотация издательства: В книге приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, описаны режимы обработки, причины возникновения брака и способы его устранения; процессы механической обработки пластин, разделения их на кристаллы, изготовления фотошаблонов; устройство, наладка, правила эксплуатации типового оборудования и др. |
. |
